2002（第13回）
【実用化研究部門】
『超高濃度オゾン発生・供給装置の開発と応用分野開拓』
独立行政法人産業技術総合研究所極微プロファイル計測研究ラボ ラボ長 一村信吾 氏 ? 同主任研究員 野中秀彦 氏 ? 同主任研究員 黒河 明 氏 ? 同主任研究員 中村 健 氏
【若手研究者部門】
『単結晶強磁性トンネル素子』
独立行政法人産業技術総合研究所エレクトロニクス部門スビントロニクスグループ
主任研究員 湯浅新治 氏
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