2002（第13回）
【実用化研究部門】
『超高濃度オゾン発生・供給装置の開発と応用分野開拓』
産業技術総合研究所 極微プロファイル計測研究ラボ
ラボ長 一村 信吾 氏
同 主任研究員 野中 秀彦 氏
同 主任研究員 黒河 明? ?氏
同 主任研究員 中村 健? ?氏
【若手研究者部門】
『単結晶強磁性トンネル素子』
産業技術総合研究所 エレクトロニクス部門 スビントロニクスグループ
主任研究員 湯浅 新治 氏
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